設備介紹
1、 激光束非接觸工作,無機械應力,避免材料崩邊、碎裂或變形。熱影響區小,斷面平滑、無微裂紋。
2、 采用高精度運動控制系統與視覺定位,實現微米級加工。光束質量好,能產生極細光斑。
3、 切割速度快,模塊化與封閉光路設計保障24小時連續穩定運行。
4、 配備專用軟件,可靈活設計、顯示劃片路徑,易于集成自動化產線。
適用材料:
各類硅片(單晶硅、多晶硅、非晶硅);其他半導體材料(如砷化鎵、碳化硅、藍寶石襯底等);精密脆性材料(如陶瓷、石英玻璃)
適用行業:
光伏行業:太陽能電池硅片的劃片與切割;半導體行業:集成電路晶圓的芯片分割;其他高精領域:LED、光電子、醫療器件等